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随着社会进步和人们生活水平的提，过滤器尤其是高效空气粒子(HEPA)过滤器、超低穿透率空气(ULPA)过滤器越来越广泛地应用于各个领域......
无尘室内的浮游微粒子浓度，使用高性能的过滤器即可容易达到零水平，实际的生产现场由于作业者、机器、周边机械的发尘及基板运送时所接触的零件材料的发尘等......
洁净车间洁净度分类分为A级、B级、C级和D级，各个级别对悬浮粒子的要求不同，但是其检测标准大同小异，下面说一下洁净车间检测中悬浮粒子的动态监测方案......
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