维持一个稳定的无尘环境,不仅仅靠空气过滤,还需要一个综合系统:
1.空气过滤系统:使用高效
过滤器(HEPA) 或超高效过滤器(ULPA) 来去除空气中的颗粒。
2.气流组织:
①单向流/层流:空气以均匀的流速和方向平行流动,像一道“空气活塞”,能迅速排除污染物。用于高等级(如 ISO 3-5)区域。
②非单向流/乱流:空气以不均匀的速度和不平行的方向流动,通过稀释作用降低颗粒浓度。用于较低等级(如 ISO 6-8)区域。
3.压差控制:洁净度高的区域对相邻洁净度低的区域保持正压,防止污染空气倒灌。
4.温湿度控制:维持恒定的温湿度,以满足工艺要求并防止细菌滋生。
5.建筑材料:墙壁、地板、天花板必须光滑、不产尘、不积尘、易清洁。
6.人员和物料管理:
①人员:必须穿着专用的洁净服(无尘服、手套、口罩、靴子等),并经过严格的培训。
②物料:所有进入车间的物料都需要通过气闸室并进行清洁。